北京汉达森~王鹏飞

APT匀胶旋涂仪SPIN200i

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APT匀胶旋涂仪

Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS系列

德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、可重复的工艺流程控制方案.

一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性，天然聚丙烯

（NPP）或聚四氟⼄乙烯（PTFE）材质，整机无⾦金属裸露，无交叉污染，

易清洗维护，为用户带来全新的操作体验.

操作控制器可拆卸，全尺寸的触摸屏，可戴手套操作，耐化学性。

系统参数表

SPIN150i SPIN200i

程序段数： 无限制 无限制

操作步数： 无限制 无限制

旋转速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps  0-12,000 rpm ±1rpm steps

旋转精度： ± 0.1 rpm  ± 0.1 rpm  

旋转方向： 顺时针、逆时针、交换摆动  顺时针、逆时针、交换摆动  

最大加速度： 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec

旋转时间： 无限制*, ± 0.1 seconds steps 无限制*, ± 0.1 seconds steps

基片范围： 160mm 直径or 4ʺ″ ⽅片  260 mm 直径or 6ʺ″ ⽅片

腔体直径： 202 mm 302 mm

外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm

匀胶旋涂仪SPIN PROCESSORAPT匀胶旋涂仪

Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS系列

德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、可重复的工艺流程控制方案.

一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性，天然聚丙烯

（NPP）或聚四氟⼄乙烯（PTFE）材质，整机无⾦金属裸露，无交叉污染，

易清洗维护，为用户带来全新的操作体验.

操作控制器可拆卸，全尺寸的触摸屏，可戴手套操作，耐化学性。

系统参数表

SPIN150i SPIN200i

程序段数： 无限制 无限制

操作步数： 无限制 无限制

旋转速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps  0-12,000 rpm ±1rpm steps

旋转精度： ± 0.1 rpm  ± 0.1 rpm  

旋转方向： 顺时针、逆时针、交换摆动  顺时针、逆时针、交换摆动  

最大加速度： 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec

旋转时间： 无限制*, ± 0.1 seconds steps 无限制*, ± 0.1 seconds steps

基片范围： 160mm 直径or 4ʺ″ ⽅片  260 mm 直径or 6ʺ″ ⽅片

腔体直径： 202 mm 302 mm

外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm

匀胶旋涂仪SPIN PROCESSOR